[实用新型]光学部件增透镀膜设备的腔体有效
| 申请号： | 201920387914.6 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN210030877U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;钱拥军 | 申请（专利权）人： | 光科真空科技(泰兴)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 32247 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 225400 江苏省泰州市泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学部件增透镀膜设备的腔体，包括上顶板、下底板及侧板，上顶板、下底板通过侧板固定连接，下底板上转动设置镀膜基片，下底板与镀膜基片之间设置由形状记忆合金材料制成的基片旋转驱动合金线，基片旋转驱动合金线的一端固定连接在下底板的上表面，另一端抵靠设置在镀膜基片下表面。本实用新型实现在镀膜时镀膜基片的自动旋转，使得蒸镀的整个过程更加均匀，使得蒸镀蒸汽在基材上散布均匀；并且本腔体在原有制造工艺中，增加了对关键部位氩气保护的特殊工装、氩弧焊打底、填丝多道焊接的方法，并严格控制避免产生焊接缺陷，在法兰、接管焊接中采用工装保证焊接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜基片 下底板 本实用新型 旋转驱动 合金线 上顶板 工装 腔体 蒸镀 焊接 形状记忆合金材料 底板 侧板固定 镀膜设备 多道焊接 关键部位 光学部件 焊接缺陷 制造工艺 转动设置 自动旋转 氩气保护 上表面 下表面 氩弧焊 侧板 镀膜 法兰 基材 填丝 增透 蒸汽 接管 散布 保证 | ||
【主权项】：
1.光学部件增透镀膜设备的腔体，其特征在于，包括上顶板、下底板及侧板，上顶板、下底板通过侧板固定连接，下底板上转动设置镀膜基片，下底板与镀膜基片之间设置由形状记忆合金材料制成的基片旋转驱动合金线，基片旋转驱动合金线的一端固定连接在下底板的上表面，另一端抵靠设置在镀膜基片下表面。/n
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