[实用新型]一种PECVD石墨舟挡板陶瓷圈有效
| 申请号： | 201920392105.4 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN209526075U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈程;黄思敏 | 申请（专利权）人： | 赛维LDK太阳能高科技（新余）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 赣州智府晟泽知识产权代理事务所(普通合伙) 36128 | 代理人： | 夏琛莲 |
| 地址： | 338000 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种PECVD石墨舟挡板陶瓷圈，石墨舟(4)中均匀设置多块石墨挡板(2)，在石墨挡板(2)之间两侧设置多个陶瓷圈，其中靠近石墨舟最外一排的陶瓷圈设置成缺口陶瓷圈，分别是第一缺口陶瓷圈(1a),第二陶瓷圈(1b),第三陶瓷圈(1c)和第四陶瓷圈(1d)，缺口陶瓷圈(1)的主体为采用陶瓷材料做的陶瓷圈筒体(12），在陶瓷圈筒体(12)的上侧均匀设置四个方形缺口(11)，下侧均匀设置四个方形缺口(11)，方形缺口(11)大小相同，形状为方形；本实用新型主要通过改善陶瓷圈的规格和形状来解决PECVD镀中出现硅片边缘红角的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷圈 石墨舟 方形缺口 均匀设置 本实用新型 挡板 石墨挡板 筒体 硅片边缘 两侧设置 陶瓷材料 多块 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD石墨舟挡板陶瓷圈，其特征在于，石墨舟(4)中均匀设置多块石墨挡板(2)，在石墨挡板(2)之间两侧设置多个陶瓷圈，其中靠近石墨舟最外一排的陶瓷圈设置成缺口陶瓷圈(1)，分别是第一缺口陶瓷圈(1a),第二陶瓷圈(1b),第三陶瓷圈(1c)和第四陶瓷圈(1d)，缺口陶瓷圈(1)的主体为采用陶瓷材料做的陶瓷圈筒体(12），在陶瓷圈筒体(12)的上侧均匀设置四个方形缺口(11)，下侧均匀设置四个方形缺口(11)，方形缺口(11)大小相同，形状为方形。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
