[实用新型]一种镀膜设备用水冷板有效
| 申请号： | 201920393117.9 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209702844U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种镀膜设备用水冷板，包括进水口连接装置、进水口、靶材背板、第二水冷管以及第三水冷管；所述靶材背板内设置有第一水冷区、第二水冷区以及第三水冷区，所述第一冷水区内设置有第一水冷管，所述第一水冷管呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管管路弯折少于第一水冷管的管道弯折数，且第二水冷管排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管呈一字型布置，所述进水口通过管路与出水口相连接。本实用新型一种镀膜设备用水冷板，结构简便，为一体式，水冷效果均匀，并可通过水流速度，水冷口径控制降温速度，提高镀膜速率。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷管 水冷 弯折 本实用新型 靶材背板 镀膜设备 用水冷板 连续S形 进水口 进水口连接 一字型布置 间隔均匀 口径控制 出水口 镀膜 路弯 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备用水冷板，其特征在于：包括进水口连接装置(1)、进水口(4)、靶材背板(2)、第二水冷管(10)以及第三水冷管(11)；所述靶材背板(2)内设置有第一水冷区(6)、第二水冷区(7)以及第三水冷区(8)，所述第一水冷区(6)内设置有第一水冷管(9)，所述第一水冷管(9)呈连续S形弯折布置，且管路之间间隔均匀，所述第二水冷管(10)也呈连续S形弯折布置，所述第二水冷管(10)管路弯折少于第一水冷管(9)的管道弯折数，且第二水冷管(10)排列中间间距大于两侧间距，所述第三水冷管(11)呈一字型布置，所述进水口(4)通过管路与出水口(5)相连接。/n
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