[实用新型]一种靶材有效
| 申请号： | 201920393122.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209702848U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种靶材，包括靶材；所述靶材下端面设置有铜网，所述铜网位于硅胶内，所述铜网与硅胶平面大小相同，所述铜网不与靶材连接的一侧设置有靶材背板，所述铜网与靶材以及靶材背板均为贴合连接，所述靶材、铜网以及靶材背板均通过硅胶粘合。本实用新型一种靶材，结构简便，能使硅胶完全导电，并且导电效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 铜网 靶材背板 硅胶 本实用新型 导电效果 硅胶平面 贴合连接 下端面 粘合 导电 | ||
【主权项】：
1.一种靶材，其特征在于：包括靶材(1)；所述靶材(1)下端面设置有铜网(2)，所述铜网(2)位于硅胶(3)内，所述铜网(2)与硅胶(3)平面大小相同，所述铜网(2)不与靶材(1)连接的一侧设置有靶材背板(4)，所述铜网(2)与靶材(1)以及靶材背板(4)均为贴合连接，所述靶材(1)、铜网(2)以及靶材背板(4)均通过硅胶(3)粘合。/n
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