[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 201920414814.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209935364U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 颜超仁;张文福;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗装置，清洗装置包括：清洗槽、清洗液喷头及气体喷头；清洗槽包括内槽及位于内槽外侧的外槽，外槽包围内槽，且外槽的底面低于内槽的顶面；清洗液喷头形成清洗液面，且清洗液面的投影覆盖位于内槽中的传送手臂；气体喷头位于清洗液喷头的上方，气体喷头形成气体面，气体面位于清洗液面的上方，且气体面的投影覆盖清洗液面。本实用新型的清洗装置，通过清洗液喷头对传送手臂进行清洗，通过气体喷头对传送手臂进行清洁及干燥，且通过气体喷头还可防止清洗液的飞溅，从而提高传送手臂的清洗效果、提高晶圆的蚀刻率及晶圆的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体喷头 内槽 清洗液喷头 清洗装置 手臂 清洗液 传送 外槽 本实用新型 清洗液面 投影覆盖 气体面 清洗槽 晶圆 清洗效果 蚀刻率 飞溅 底面 顶面 清洗 包围 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括：/n清洗槽，所述清洗槽包括内槽及位于所述内槽外侧的外槽，所述外槽包围所述内槽，且所述外槽的底面低于所述内槽的顶面；/n清洗液喷头，所述清洗液喷头形成清洗液面，且所述清洗液面的投影覆盖位于所述内槽中的传送手臂；/n气体喷头，所述气体喷头位于所述清洗液喷头的上方，所述气体喷头形成气体面，所述气体面位于所述清洗液面的上方，且所述气体面的投影覆盖所述清洗液面。/n
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