[实用新型]微流体致动器模块有效
| 申请号： | 201920415518.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN210003874U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/20 | 分类号： | F16K11/20;F16K31/02;F15B13/02 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微流体致动器模块，包含：一第一基板，透过蚀刻制程形成多个流体出口以及多个喷口；一第一光阻层，透过显影制程形成一连通流道；一阀层，透过蚀刻制程形成多个出口阀以及多个入口阀；一第二基板，透过蚀刻制程定义多个振动区；一第二光阻层，透过滚压制程形成于该第二基板上，透过显影制程与第二基板共同形成多个振动腔室；一压电层，透过切割制程定义多个致动区；以及一电极层，具有多个上电极区以及多个下电极区。提供驱动电源驱动振动区产生往复式位移，使流体自连通流道吸入，再由喷口排出以完成流体传输。 | ||
| 搜索关键词： | 第二基板 蚀刻制程 制程 光阻层 喷口 显影 往复式位移 致动器模块 第一基板 连通流道 流体出口 流体传输 驱动电源 驱动振动 下电极区 振动腔室 出口阀 电极层 电极区 入口阀 通流道 微流体 压电层 振动区 阀层 流体 排出 吸入 致动 切割 压制 | ||
【主权项】：
1.一种微流体致动器模块，其特征在于，包含：/n一第一基板，具有一第一表面及一第二表面，透过蚀刻制程形成多个流体出口以及多个喷口，该多个流体出口分别与该多个喷口相连通；/n一第一保护层，透过沉积制程形成于该第一基板的该第一表面上，且透过蚀刻制程形成多个出口开口，该多个出口开口分别透过该多个流体出口与该多个喷口相连通；/n一第一光阻层，透过滚压制程形成于该第一保护层上，且透过显影制程形成一连通流道、多个入口流道、多个阀座以及多个腔体开口；/n一阀层，透过翻转对位制程接合于该第一光阻层，并透过蚀刻制程形成多个出口阀、多个入口阀以及一第一流道开口，该第一流道开口与该第一光阻层的该连通流道相连通；/n一第二基板，透过蚀刻制程形成多个振动开口，并定义多个振动区，该多个振动区分别与该多个振动开口的位置相对应；/n一第二光阻层，透过滚压制程形成于该第二基板上，透过显影制程形成多个腔体孔洞以及一第二流道开口，并透过覆晶制程与该阀层热压接合，该多个腔体孔洞分别与该第二基板的该多个振动开口以及该第一光阻层的该多个腔体开口相连通，借以形成多个振动腔室，该第二流道开口透过该阀层的该第一流道开口与该第一光阻层的该连通流道相连通；/n一导电胶层，透过网印制程形成于该第二基板上；/n一压电层，透过粘贴制程形成于该导电胶层上，并透过切割制程定义多个致动区；以及/n一电极层，透过焊接制程形成于该压电层以及该第二基板上，并具有多个上电极区以及多个下电极区；/n其中，提供具有不同相位电荷的驱动电源至该多个上电极区以及该多个下电极区，借以驱动并控制该第二基板的该多个振动区产生往复式位移，使流体自该连通流道吸入，通过该多个入口流通后推开该多个入口阀流至该多个振动腔室，最后该振动腔室受挤压使流体推开该多个出口阀后，通过该多个流体出口再自该多个喷口排出，以完成流体传输。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于研能科技股份有限公司，未经研能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920415518.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
