[实用新型]一种真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920418628.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209836289U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘昕;江社明;仲海峰;习中革;李远鹏;张杰;邱肖盼;张子月;张启富 | 申请（专利权）人： | 新冶高科技集团有限公司;北京钢研新冶工程设计有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11386 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 丛洪杰;和欢庆 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空蒸镀装置，属于真空蒸镀技术领域，解决了现有技术中蒸镀材料利用率低、镀层附着力小以及无法精确控制膜厚的问题。蒸镀装置，包括真空腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，熔融单元通过蒸气输送单元和喷射单元连接；熔融单元包括熔融腔，蒸气输送单元包括蒸气腔，蒸气输送单元包括蒸气腔，喷射单元包括喷射腔和喷嘴；从熔融腔至喷射腔方向，蒸气腔的横截面面积逐渐减小；喷嘴包括用于向试样镀膜的喷气口；蒸气腔顶部的横截面面积大于喷气口处的横截面面积；试样在真空腔内完成镀膜。本实用新型实现了对蒸镀材料的高效利用，并且提高了镀膜的致密性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸气输送 蒸气腔 喷射单元 镀膜 熔融 本实用新型 喷嘴 喷气口 喷射腔 熔融腔 真空腔 蒸镀材料利用率 真空蒸镀技术 真空蒸镀装置 镀层附着力 高效利用 蒸镀材料 蒸镀装置 逐渐减小 控制膜 致密性 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括真空腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，所述熔融单元通过所述蒸气输送单元和所述喷射单元连接；/n所述熔融单元包括熔融腔，所述蒸气输送单元包括蒸气腔，所述蒸气输送单元包括蒸气腔，所述喷射单元包括喷射腔和喷嘴；/n从所述熔融腔至所述喷射腔方向，所述蒸气腔的横截面面积逐渐减小；/n所述喷嘴包括用于向试样镀膜的喷气口；所述蒸气腔顶部的横截面面积大于所述喷气口处的横截面面积；/n试样在真空腔内完成镀膜。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新冶高科技集团有限公司;北京钢研新冶工程设计有限公司，未经新冶高科技集团有限公司;北京钢研新冶工程设计有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920418628.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种三维旋转蒸发电镀装置
- 下一篇：一种三维锥形纳米层膜结构
- 同类专利
- 专利分类
