[实用新型]一种晶圆双面宏观观测装置及系统有效
| 申请号： | 201920420088.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN210322751U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 龚昱;詹翡纱;邱海洲 | 申请（专利权）人： | 上海新创达智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/13;G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 冯健强 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区南汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。增加了晶圆观察时的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 宏观 观测 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新创达智能科技有限公司，未经上海新创达智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920420088.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中心静脉压测量装置
- 下一篇：一种轴承润滑优化结构
