[实用新型]一种晶圆片探针台的测试装置有效
| 申请号： | 201920421960.3 | 申请日： | 2019-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN210181166U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 曹晖 | 申请（专利权）人： | 扬州亿芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 奚衡宝 |
| 地址： | 225100 江苏省扬州市邗江区吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片探针台的测试装置，包括承载板和设置在承载板上部的转盘部，所述承载板呈圆形且其顶部位于边侧焊接有竖直状的支撑板，所述支撑板一侧靠近顶部焊接有水平布置的架板，所述架板相对承载板呈向心分布，所述架板上远离支撑板的一端焊接有竖直布置的导向套，所述导向套内套设有滑柱，所述滑柱的底部设有水平布置的探针板。本实用新型中，转盘部上中的圆盘上设置有六个可以放置晶圆片的圆形沉槽，电机旋转可带动转盘旋转，由此每个圆形沉槽可旋转至探针板的下部，探针板上下移动可进行对圆形沉槽内的晶圆片进行测试，此种在检测的同时，其他圆形沉槽可进行存放晶圆片，保持持续进行检测，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 探针 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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