[实用新型]压力传感器

摘要

本实用新型提供了一种压力传感器，压力传感器包括：衬板、玻璃基座、芯片、硅基底、按压槽、硅弹性膜、电极、引脚和玻璃浆料；玻璃基座设置在衬板上；芯片嵌入玻璃基座的上壁内；硅基底设置在玻璃基座的上方；按压槽设置在硅基底的上壁面，且按压槽向硅基底的底部凹陷；硅弹性膜贴附在按压槽的内壁上；电极与芯片电连接，且电极嵌入玻璃基座的上壁面内；引脚与电极相连接，且引脚穿过玻璃基座和衬板；玻璃浆料嵌入玻璃基座内，且玻璃浆料包裹于电极和引脚的外侧。在玻璃基座与电极相应的位置上加工引脚孔，通过引脚与电极相连接，并使引脚穿过玻璃基座和衬板，从而减小了芯片水平方向所需空间。

主权项

1.一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：衬板；玻璃基座，所述玻璃基座设置在所述衬板上；芯片，所述芯片嵌入所述玻璃基座的上壁内；硅基底，所述硅基底设置在所述玻璃基座的上方；按压槽，所述按压槽设置在所述硅基底的上壁面，且所述按压槽向所述硅基底的底部凹陷；硅弹性膜，所述硅弹性膜贴附在所述按压槽的内壁上；电极，所述电极与所述芯片电连接，且所述电极嵌入所述玻璃基座的上壁面内；引脚，所述引脚与所述电极相连接，且所述引脚穿过所述玻璃基座和所述衬板；玻璃浆料，所述玻璃浆料嵌入所述玻璃基座内，且所述玻璃浆料包裹于所述电极和所述引脚的外侧。