[实用新型]方形螺旋硅漂移探测器有效
申请号: | 201920424776.4 | 申请日: | 2019-04-01 |
公开(公告)号: | CN209896073U | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 李正;唐立鹏 | 申请(专利权)人: | 湖南正芯微电子探测器有限公司 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/115;H01L31/18 |
代理公司: | 43210 长沙新裕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周跃仁 |
地址: | 411000 湖南省湘潭市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种方形螺旋硅漂移探测器,包括正面设有圆形的n+收集阳极、方形螺旋阴极和正面保护环的基片,方形螺旋阴极环绕n+收集阳极分布,且方形螺旋阴极的宽度由内向外逐渐变宽,正面保护环环绕螺旋阴极分布;基片反面设有反面电极、入射窗口和反面保护环,入射窗口和反面电极紧密相连且均位于反面保护环内,反面电极极性为阴极。方形螺旋阴极的宽度范围为10~40μm,正面保护环的圈数为3圈。n+收集阳极与螺旋阴极掺杂类型相反,但掺杂浓度数量级相同,反面电极与方形螺旋形电极的掺杂类型和掺杂浓度数量级均相同,基片与n+收集阳极的掺杂类型相同。n+收集阳极为掺杂硼硅,方形螺旋阴极为掺杂磷硅。 | ||
搜索关键词: | 方形螺旋 阴极 阳极 反面电极 掺杂类型 正面保护 掺杂 浓度数量级 螺旋阴极 入射窗口 环绕 硅漂移探测器 本实用新型 基片反面 紧密相连 由内向外 逐渐变宽 电极 磷硅 硼硅 圈数 | ||
【主权项】:
1.方形螺旋硅漂移探测器,其特征在于,包括基片(9),基片(9)正面设有圆形的n+收集阳极(5)、方形螺旋阴极(6)和形状为圆角矩形的正面保护环(10),方形螺旋阴极(6)环绕n+收集阳极(5)分布,且方形螺旋阴极(6)的宽度由内向外逐渐变宽,正面保护环(10)环绕方形螺旋阴极(6)分布;基片(9)反面设有反面电极、入射窗口(8)和形状为圆角矩形的反面保护环(7),入射窗口(8)和反面电极紧密相连且均位于反面保护环(7)内,且反面电极极性为阴极。/n
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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