[实用新型]六边形盒状三维探测器有效
| 申请号： | 201920424816.5 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209675279U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李正;张亚;廖川;路顺茂 | 申请（专利权）人： | 李正 |
| 主分类号： | H01L25/04 | 分类号： | H01L25/04;H01L31/0224;H01L31/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 43210 长沙新裕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周跃仁<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 湖南省湘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种六边形盒状三维探测器，该探测器由数个探测单元排列组成，探测单元的外部呈正六棱柱，探测单元包括硅基底，硅基底上固定有中空的壳形电极，壳形电极内填充有探测基体，探测基体顶部中间镶嵌有中央收集电极，壳形电极和中央收集电极顶部附着有氧化层，探测基体顶部附着有金属层；本实用新型制备的探测器结电容和信号噪声小，死区比例小，电流信号间不会相互干扰，探测器的位置分辨率和能量分辨率高；探测器内部的电场分布均匀，且粒子能够双面入射，工作效率高，能使用电池驱动，方便携带。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 探测单元 电极 壳形 本实用新型 探测 收集电极 硅基 附着 工作效率高 能量分辨率 三维探测器 位置分辨率 六边形 电场分布 电池驱动 电流信号 信号噪声 结电容 金属层 六棱柱 氧化层 中空的 盒状 入射 死区 制备 填充 粒子 镶嵌 携带 外部 | ||
【主权项】：
1.六边形盒状三维探测器，其特征在于，探测器由数个探测单元排列组成，探测单元的外部呈正六棱柱，探测单元包括硅基底(4)，硅基底(4)上固定有壳形电极(3)，壳形电极(3)由底面和侧面组成，底面为正六边形的离子注入层，侧面是沿着底面正六边形边垂直刻蚀的矩形沟槽，沟槽中扩散掺杂有半导体材料，壳形电极(3)内填充有探测基体(2)，探测基体(2)顶面的中间部位镶嵌有正六棱柱状的中央收集电极(1)，中央收集电极(1)和壳形电极(3)的顶面附着有金属层(6)，探测基体(2)顶面附着有氧化层(5)，中央收集电极(1)接负极，壳形电极(3)接阳极。/n
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