[实用新型]高密度电浆化学气相沉积设备及其射频电源机柜

摘要

本实用新型公开一种高密度电浆化学气相沉积设备及其射频电源机柜，该高密度电浆化学气相沉积设备包含有多个反应腔体，各反应腔体与对应的射频电源机柜内设置的多个切换式射频电源供应器电性连接；各该切换式射频电源供应器各自连接市电交流电源，不必在机壳内额外设置交直流转换器，节省空间；加上各该切换式射频电源供应器以脉宽调变技术将市电交流电源转换为射频电源，可以一般功率晶体管取代真空管的使用，体积及成本得以下降；因免除真空管的使用，各该射频电源供应器在待机时间不必持续供电预热真空管，可提高整体电源转换率。

主权项

1.一种高密度电浆化学气相沉积设备，其特征在于，包括：/n多个反应腔体；以及/n多个射频电源机柜，分别电性连接至该多个反应腔体，提供射频电源予各该反应腔体；其中各该射频电源机柜包含有：/n一机壳；以及/n多个切换式射频电源供应器，容置于该机壳内，并分别电性连接于市电交流电源与该多个反应腔体之间，将该市电交流电源予以脉宽调变并转换为一射频电源后，传送至对应的该反应腔体。/n