[实用新型]晶圆运载盒有效
| 申请号： | 201920433437.2 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209757895U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邱铭隆;陈延方 | 申请（专利权）人： | 中勤实业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10 |
| 代理公司： | 11355 北京泰吉知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张雅军;史瞳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种晶圆运载盒，包含外壳及限位单元。该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖，该上盖具有第一导引部。该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位。该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。借此可使晶圆运载盒的上盖在盖合过程中受到导引而确保上保持件与晶圆相对正，从而降低晶圆损伤或破裂的风险，并且能使上盖与底座较容易对位盖合。 | ||
| 搜索关键词： | 上盖 导引部 晶圆 底座 保持件 盖合 卡匣 限位单元 运载盒 导引 对位 可分离地 底座盖 可拆 匣件 限位 种晶 破裂 损伤 配合 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆运载盒，包含：外壳及限位单元；该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖；该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位；其特征在于：/n该上盖具有第一导引部，该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。/n
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