[实用新型]一种电容式薄膜真空计有效
| 申请号： | 201920438817.5 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN209470807U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朱泓;唐云剑 | 申请（专利权）人： | 上海振太仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 200333 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电容式薄膜真空计，包括壳体、检测膜片、固定基板和固定极板，壳体内具有一容置空间，检测膜片固定在容置空间内并将容置空间分割成检测腔和真空腔。固定基板固定在真空腔内，固定基板朝向检测膜片的一面固定设置有两个固定极板，两个固定极板左右对称且间隔布置。本实用新型中将两个固定极板按照左右对称且间隔分布的方式设置，使得两个固定极板都有一部分面积在检测膜片中心变形量最大区域，因而能使两个ΔC最大化，进而增加了测量的准确度和稳定度，提高了真空计的测量精度和测量范围，同时提高真空计的灵敏度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 固定极板 真空计 固定基板 容置空间 检测膜 本实用新型 电容式薄膜 左右对称 测量 真空腔 准确度 朝向检测 方式设置 固定设置 间隔布置 间隔分布 最大区域 变形量 检测腔 灵敏度 稳定度 最大化 分辨率 壳体 膜片 体内 分割 | ||
【主权项】：
1.一种电容式薄膜真空计，其特征在于，包括壳体(1)、检测膜片(2)、固定基板(3)和固定极板(4)；所述壳体(1)内具有一容置空间，所述检测膜片(2)固定在所述容置空间内并将所述容置空间分割成检测腔(11)和真空腔(12)；所述固定基板(3)固定在所述真空腔(12)内，所述固定基板(3)朝向所述检测膜片(2)的一面固定设置有两个所述固定极板(4)，两个所述固定极板(4)左右对称且间隔布置；其中，两个所述固定极板(4)为固定电极，所述检测膜片(2)为弯曲电极，所述固定电极与所述弯曲电极组成一个可变电容器。
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