[实用新型]一种集成电路制备用光刻机

摘要

本实用新型属于光刻机技术领域，尤其是一种集成电路制备用光刻机，包括箱体，所述箱体的一端内底壁固定安装有光刻机，所述所述箱体的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴、第二转轴和第三转轴，所述第一转轴的表面固定套接有传送装置。该集成电路制备用光刻机，达到了对集成电路板进行光刻前的烘干，槽轮机构中的槽轮对光电对射开关射线进行间歇性遮挡，遮挡时，第三电机通过齿轮与齿条啮合带动烘干机向上滑动并通过限位开关限位，离开集成电路板，方便集成电路板传送光刻，当光电对射开关又重新射线照射到一起时，第三电机自动控制烘干机下滑烘干，从而解决了现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题。