[实用新型]一种防泄漏的TMAH提纯设备有效
| 申请号： | 201920441855.6 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN210176759U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 梁海慧;杨伟林 | 申请（专利权）人： | 厦门积光集成电路科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C209/84 | 分类号： | C07C209/84;C07C211/63 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种防泄漏的TMAH提纯设备，包括槽壳，所述槽壳内安装有槽壳板，所述槽壳板的顶端安装有支柱，且支柱位于槽壳的顶端两侧位置，所述槽壳板的顶端安装有内衬板，所述内衬板的顶端安装有结壳，所述结壳的顶端安装有阴极，所述阴极的顶端安装有第一阳极，所述第一阳极的一侧安装有第二阳极，所述第一阳极的顶端安装有第一固定板，本实用新型外侧顶部设置有散热板，散热板与边板均设置有散热效果，对本设备内侧进行温度的把控，进一步的保证设备内部提纯的质量，增加工作质量，提高生产效益，本实用新型内侧设置有两个阳极进行反应，保证了产品的质量，优质的作出想要的纯浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泄漏 tmah 提纯 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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