[实用新型]一种MO源瓶恒温槽有效
| 申请号： | 201920451702.X | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN209828879U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 董金矿;汪玉;黄文宾;周宏敏;王亚伟;林兓兓;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/08 | 分类号： | B01F13/08;B01F15/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种MO源瓶恒温槽，用于使MO源瓶温度恒定，至少包括槽体，所述槽体内盛有使MO源瓶恒温的液体，其特征在于，所述槽体内设置放置MO源瓶的支架，所述支架下方设置使所述液体流动的搅拌装置，所述搅拌装置下方设置使所述搅拌装置沿槽体内壁升降的升降装置。本实用新型通过搅拌装置减小液体温度的不均匀和波动，通过升降装置自动调节液位的高低，通过槽体的第一保温层和第二保温层减慢液体温度的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 搅拌装置 本实用新型 升降装置 体内 保温层 支架 半导体设备 温度恒定 液体流动 恒温槽 通过槽 槽体 减小 沿槽 液位 减慢 升降 | ||
【主权项】：
1.一种MO源瓶恒温槽，用于使MO源瓶温度恒定，至少包括槽体，所述槽体内盛有使MO源瓶恒温的液体，其特征在于，所述槽体内设置放置MO源瓶的支架，所述支架下方设置使所述液体流动的搅拌装置，所述搅拌装置下方设置使所述搅拌装置沿槽体内壁升降的升降装置。/n
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