[实用新型]一种基片样品架及镀膜设备有效
| 申请号： | 201920452682.8 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN209778979U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;黄稳;武启飞;徐飞;张敬娣;赵平 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，公开了一种基片样品架及镀膜设备。所述基片样品架包括安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。本实用新型解决了蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基片盘 安装板 升降驱动单元 样品架 本实用新型 基片样品 旋转单元 掩膜板 掩膜架 真空蒸镀装备 输出端连接 驱动 承载基片 镀膜设备 镀膜效果 对位贴合 组件设置 不均匀 内轴 蒸镀 转动 承载 | ||
【主权项】：
1.一种基片样品架，其特征在于，包括：/n安装板(1)；/n样品架单元(2)，设置于所述安装板(1)上，所述样品架单元(2)包括用于承载基片(8)的基片盘组件(21)和用于承载掩膜板(7)的掩膜架组件(22)，所述掩膜架组件(22)设置于所述基片盘组件(21)的下方；/n基片盘升降驱动单元(3)，设置于所述安装板(1)上，所述基片盘升降驱动单元(3)的输出端连接所述基片盘组件(21)，所述基片盘升降驱动单元(3)能够驱动所述基片盘组件(21)下降或上升，以使所述基片(8)与所述掩膜板(7)对位贴合或分离；/n旋转单元(4)，设置于所述安装板(1)，所述旋转单元(4)驱动所述样品架单元(2)绕自身内轴转动。/n
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