[实用新型]FFU现场性能综合监测系统

摘要

本实用新型公开了一种FFU现场性能综合监测系统。包括电脑、触摸屏、控制器、第一驱动器、第二驱动器、风机过滤机组、风速传感器、压差传感器和尘埃粒子计数器；所述电脑和触摸屏通过导线与控制器通讯输入端连接，所述控制器上端连接有风速传感器、压差传感器和尘埃粒子计数器，控制器下端设置有通讯输入端和通讯输出端，所述控制器通讯输出端与第一驱动器输入端连接，第一驱动输出端通过导线与第二驱动输入端连接，所述第一驱动器和第二驱动器与电机相连，且电机位于风机过滤机组内部。实现了保证FFU的性能符合生产工艺的要求，保证了洁净室的正常运行。

主权项

1.一种FFU现场性能综合监测系统，其特征在于：包括电脑（1）、触摸屏（2）、控制器（6）、第一驱动器（10）、第二驱动器（11）、风机过滤机组（12）、风速传感器（7）、压差传感器（8）和尘埃粒子计数器（9）；所述电脑（1）和触摸屏（2）通过导线（14）与控制器通讯输入端连接，所述控制器（6）上端连接有风速传感器（7）、压差传感器（8）和尘埃粒子计数器（9），控制器（6）下端设置有通讯输入端和通讯输出端，所述控制器通讯输出端与第一驱动器输入端连接，第一驱动输出端通过导线（14）与第二驱动输入端连接，所述第一驱动器（10）和第二驱动器（11）与电机（13）相连，且电机（13）位于风机过滤机组（12）内部。