[实用新型]一种电阻法碳化硅长晶设备石墨电阻加热装置有效
| 申请号： | 201920461838.9 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN209836366U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 周元辉;刘春艳;张明福;胡春霞;刘洪亮;刘洪涛;范子龙;高雅蕾;姜树炎 | 申请（专利权）人： | 苏州优晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 11768 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 215613 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电阻法碳化硅长晶设备石墨电阻加热装置，包括正极接线柱与负极接线柱，所述正极接线柱与负极接线柱之间靠近底端位置固定安装有多个螺旋石墨电阻片。本实用新型所述的一种电阻法碳化硅长晶设备石墨电阻加热装置，过将原有的条形石墨电阻片改成螺旋石墨电阻片，在螺旋石墨电阻片通电时，既能通过螺旋石墨电阻片本身通电发热，还能够将形成螺旋磁场进一步的对内部的物质进行加热，其次，由于螺旋石墨电阻片为螺旋状，在受到自身的磁场影响时径向涡流无法积累，因此不易变形，径向温度相对稳定，便于控制晶体所需的温度，通过在螺旋石墨电阻片内部安装网状电阻丝，能够在螺旋石墨电阻片发生破碎时进行临时粘连。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨电阻 本实用新型 负极接线柱 正极接线柱 加热装置 电阻法 碳化硅 网状电阻丝 不易变形 磁场影响 底端位置 径向涡流 控制晶体 螺旋磁场 内部安装 通电发热 螺旋状 原有的 粘连 加热 破碎 通电 积累 | ||
【主权项】：
1.一种电阻法碳化硅长晶设备石墨电阻加热装置，包括正极接线柱（1）与负极接线柱（2），其特征在于：所述正极接线柱（1）与负极接线柱（2）之间靠近底端位置固定安装有多个螺旋石墨电阻片（3）。/n
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