[实用新型]一种捕集器及装有捕集器的排气系统

摘要

本实用新型涉及干法蚀刻设备领域，公开了一种捕集器及装有捕集器的排气系统。装有捕集器的排气系统包括依次连接的分子泵、捕集器、真空配管、干泵、洗涤塔；捕集器包括筒体、第一盖板、第二盖板、进气配管和出气配管；第一盖板和第二盖板封闭筒体内腔以形成密闭的捕集室；筒体的筒壁中设有包裹捕集室的冷腔；进气配管出气端穿过第一盖板伸入到捕集室内，出气配管进气端穿过第二盖板伸入到捕集室内，进气配管出气端的端口平面过出气配管进气端的端口平面，以使从进气配管流入的排气、在捕集室内呈Z字型流动、进而再从出气配管流出。通过上述方式，本实用新型能够有效的避免干泵出现卡死或转子磨损的情况，延长干泵使用寿命，降低干泵维护成本。

主权项

1.一种捕集器，其特征在于，包括：筒体、第一盖板、第二盖板、进气配管和出气配管；所述第一盖板和所述第二盖板分别可拆卸的固定安装在所述筒体的两端，所述第一盖板和所述第二盖板封闭所述筒体的内腔、以形成密闭的捕集室；所述筒体的筒壁中设有包裹所述捕集室以对捕集室进行降温的冷腔，所述冷腔内具有循环流动的冷却水或冷却液；所述进气配管固定安装在所述第一盖板上，所述进气配管的进气端为所述捕集器的进气口，所述进气配管的出气端穿过所述第一盖板伸入到所述捕集室内；所述出气配管固定安装在所述第二盖板上，所述出气配管的进气端穿过所述第二盖板伸入到所述捕集室内，所述出气配管的出气端为所述捕集器的出气口；所述进气配管出气端的端口平面过所述出气配管进气端的端口平面，以使从所述进气配管流入的排气、在所述捕集室内呈Z字型流动、进而再从所述出气配管流出。/n