[实用新型]自清洗管路及晶圆处理装置有效
| 申请号： | 201920466634.4 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN209969091U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 丁洋;刘家桦;叶日铨;张文福 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种自清洗管路及晶圆处理装置，其中自清洗管路包括：循环管路，首尾相连，并连通至化学品源，用于供自化学品源流出的化学品流动；传输管路，连通到循环管路，将循环管路内流动的化学品排出至腔体；清洗液源，连通至传输管路，提供清洗传输管路用的清洗液；干燥气体源，连通至传输管路，用于提供干燥传输管路用的干燥气体；三通阀，连通至传输管路，以及连通至清洗液源和干燥气体源，用于控制清洗液和干燥气体流入至传输管路；四通阀，连通至循环管路的首尾、传输管路，以及三通阀，用于控制化学品、清洗液或干燥气体流入至传输管路。上述自清洗管路及晶圆处理装置降低了生产成本，提高了产品的良率，降低了清洗传输管路的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 传输管路 连通 循环管路 干燥气体 化学品 清洗液 自清洗 晶圆处理装置 干燥气体源 化学品源 清洗液源 三通阀 清洗 首尾相连 四通阀 良率 流动 排出 腔体 首尾 生产成本 流出 | ||
【主权项】：
1.一种自清洗管路，其特征在于，包括：/n循环管路，首尾相连，并连通至化学品源，用于供自化学品源流出的化学品流动；/n传输管路，连通到所述循环管路，用于将所述循环管路内流动的化学品排出至腔体；/n清洗液源，连通至所述传输管路，用于提供清洗所述传输管路用的清洗液；/n干燥气体源，连通至所述传输管路，用于提供干燥所述传输管路用的干燥气体；/n三通阀，连通至所述传输管路，以及连通至所述清洗液源和所述干燥气体源，用于控制所述清洗液和干燥气体流入至所述传输管路；/n四通阀，连通至所述循环管路的首尾、所述传输管路，以及所述三通阀，用于控制所述化学品、清洗液或干燥气体流入至所述传输管路。/n
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