[实用新型]一种可调谐激光器有效
| 申请号： | 201920478164.3 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN209418985U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 付红岩;谢启浩;陈震旻 | 申请（专利权）人： | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调谐激光器，该可调谐激光器包括：第一衬底以及设置于第一衬底一侧的第一电极；依次设置于第一衬底远离第一电极一侧的第一分布式布拉格反射镜、有源层、氧化层、接触层以及第二电极；第二电极远离第一衬底的一侧设置有悬梁臂，贴附悬梁臂设置的永磁薄膜，以及贴附悬梁臂设置的第二分布式布拉格反射镜；永磁薄膜远离第一衬底的一侧设置有平面螺旋线圈，使得永磁薄膜与通有交流电的平面螺旋线圈之间的电磁力对悬梁臂的形变量进行控制。本实用新型提供了一种可调谐激光器，以实现一种响应速度块、调节频率高的可调谐激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 可调谐激光器 衬底 悬梁臂 永磁薄膜 分布式布拉格反射镜 平面螺旋线圈 本实用新型 第二电极 第一电极 贴附 交流电 依次设置 电磁力 接触层 形变量 氧化层 源层 响应 | ||
【主权项】：
1.一种可调谐激光器，其特征在于，包括：第一衬底以及设置于所述第一衬底一侧的第一电极；依次设置于所述第一衬底远离所述第一电极一侧的第一分布式布拉格反射镜、有源层、氧化层、接触层以及第二电极；所述第二电极远离所述第一衬底的一侧设置有悬梁臂，贴附所述悬梁臂设置的永磁薄膜，以及贴附所述悬梁臂设置的第二分布式布拉格反射镜；所述永磁薄膜远离所述第一衬底的一侧设置有平面螺旋线圈，使得所述永磁薄膜与通有交流电的所述平面螺旋线圈之间的电磁力对所述悬梁臂的形变量进行控制。
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