[实用新型]一种多级杆离子聚焦传输设备有效
| 申请号： | 201920479347.7 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN209843657U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 应刚;张相明;姜永泽;周立 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了多级杆离子聚焦传输设备，包括离子源部件、离子透镜部件、聚焦部件、分析器部件以及检测器部件，离子透镜部件、聚焦部件分析器部件都与真空系统进行联结，工作状态下形成内部真空室，聚焦部件内部安装有多级杆离子聚焦传输部件，多级杆离子聚焦传输部件包含入口大且出口小及所述入口口径至所述出口口径平滑递减的多级杆聚焦结构；本实用新型可以使得机构制作简易方便，更能进一步降低整体设备的体积，同时也可以降低一定的成本，更能提高离子聚焦能力，提升最终的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 多级杆 离子 聚焦部件 本实用新型 传输部件 离子透镜 聚焦 分析器 检测灵敏度 检测器部件 离子源部件 出口口径 传输设备 聚焦结构 聚焦能力 内部安装 入口口径 真空系统 整体设备 真空室 平滑 递减 联结 简易 制作 出口 | ||
【主权项】：
1.一种多级杆离子聚焦传输设备，其特征在于，包括位于第一顺位的离子源部件、第二顺位的离子透镜部件、位于第三顺位的聚焦部件、位于第四顺位的分析器部件以及位于第五顺位的检测器部件，所述离子源部件与所述离子透镜部件之间安装有设置了通过所述离子源部件产生的离子束的第一通孔的第一隔板，所述离子透镜部件与所述聚焦部件之间安装有设置了通过经所述离子透镜聚焦的离子束的第二通孔的第二隔板，所述聚焦部件与所述分析器部件之间安装有设置了经所述聚焦部件聚焦后的离子束的第三通孔的第三隔板，所述分析器部件和所述检测器部件之间安装有设置了通过来自所述分析器部件的离子束的第四通孔的第四隔板；所述离子透镜部件、所述聚焦部件所述分析器部件都与真空系统进行联结，工作状态下形成内部真空室，所述聚焦部件内部安装有多级杆离子聚焦传输部件，所述多级杆离子聚焦传输部件包含入口大且出口小及所述入口口径至所述出口口径平滑递减的多级杆聚焦结构;/n所述离子源部件发射离子束，通过第一通孔进入所述离子透镜部件内部的真空室，经所述离子透镜部件进行聚焦后，通过所述第二通孔进入所述聚焦部件的真空室，所述第二隔板与所述入口、所述出口与所述第三个板之间具有间隙，所述第二通孔的孔径根据离子束形成的直径进行设定，所述离子束经过所述多级杆聚焦结构进行聚焦通过所述出口射出，所述第三通孔的口径根据所述射出所述出口的离子束进行设定，并经所述第三通孔进入所述分析器部件及第五顺位的所述检测器部件进行分析及检测。/n
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