[实用新型]一种高温反应炉有效

专利信息
申请号: 201920480137.X 申请日: 2019-04-10
公开(公告)号: CN209816275U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 曹玉霞;沈毅;刘作涛;孙景卫;郝斌;陈瑞军;赵文武;刘进强;郁建元 申请(专利权)人: 唐山学院;华北理工大学
主分类号: C23C16/48 分类号: C23C16/48
代理公司: 11512 北京迎硕知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 钱扬保;张群峰
地址: 063000 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种高温反应炉,包括炉体、电极单元和激光加热单元;炉体由上盖板、腔体及下底板组成,上盖板中央开设有加热窗,加热窗与激光加热单元连接;上盖板上还安装有进样管,腔体主体为圆环柱形,侧面设置有进气口和出气口;下底板上设置有集料筒,用来收集反应后的物料;电极单元包括主电极、侧电极及其相连的电压放大器;激光加热单元采用CO
搜索关键词: 激光加热单元 上盖板 高温反应炉 电极单元 加热窗 下底板 炉体 进气口 本实用新型 电压放大器 侧面设置 沉积薄膜 粉体表面 腔体主体 圆环柱形 侧电极 出气口 集料筒 加热源 进样管 主电极 腔体
【主权项】:
1.一种高温反应炉,其特征在于,包括炉体、电极单元和激光加热单元;/n炉体由上盖板、腔体及下底板组成,上盖板中央开设有加热窗,加热窗与激光加热单元连接;上盖板上还安装有进样管,腔体主体为圆环柱形,侧面设置有进气口和出气口;下底板上设置有集料筒,用来收集反应后的物料;/n电极单元包括主电极、侧电极及其相连的电压放大器;主电极包括上下正对设置的上电极和下电极,上电极和下电极分别通过上固定架和下固定架固定在腔体中;上电极的端面为圆形平面,中心为斜面通孔,通孔与进样管正对,用于样品通过;上电极通过导线穿过上盖板与高压放大器连接,侧电极呈十字形对称分布,固定在下固定架上,相邻侧电极的下端通过导线分别与另外两台高压放大器连接,控制水平XY方向电压变化,控制水平稳定性;/n激光加热单元采用CO
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