[实用新型]一种高温反应炉有效
申请号: | 201920480137.X | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN209816275U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 曹玉霞;沈毅;刘作涛;孙景卫;郝斌;陈瑞军;赵文武;刘进强;郁建元 | 申请(专利权)人: | 唐山学院;华北理工大学 |
主分类号: | C23C16/48 | 分类号: | C23C16/48 |
代理公司: | 11512 北京迎硕知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 钱扬保;张群峰 |
地址: | 063000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种高温反应炉,包括炉体、电极单元和激光加热单元;炉体由上盖板、腔体及下底板组成,上盖板中央开设有加热窗,加热窗与激光加热单元连接;上盖板上还安装有进样管,腔体主体为圆环柱形,侧面设置有进气口和出气口;下底板上设置有集料筒,用来收集反应后的物料;电极单元包括主电极、侧电极及其相连的电压放大器;激光加热单元采用CO | ||
搜索关键词: | 激光加热单元 上盖板 高温反应炉 电极单元 加热窗 下底板 炉体 进气口 本实用新型 电压放大器 侧面设置 沉积薄膜 粉体表面 腔体主体 圆环柱形 侧电极 出气口 集料筒 加热源 进样管 主电极 腔体 | ||
【主权项】:
1.一种高温反应炉,其特征在于,包括炉体、电极单元和激光加热单元;/n炉体由上盖板、腔体及下底板组成,上盖板中央开设有加热窗,加热窗与激光加热单元连接;上盖板上还安装有进样管,腔体主体为圆环柱形,侧面设置有进气口和出气口;下底板上设置有集料筒,用来收集反应后的物料;/n电极单元包括主电极、侧电极及其相连的电压放大器;主电极包括上下正对设置的上电极和下电极,上电极和下电极分别通过上固定架和下固定架固定在腔体中;上电极的端面为圆形平面,中心为斜面通孔,通孔与进样管正对,用于样品通过;上电极通过导线穿过上盖板与高压放大器连接,侧电极呈十字形对称分布,固定在下固定架上,相邻侧电极的下端通过导线分别与另外两台高压放大器连接,控制水平XY方向电压变化,控制水平稳定性;/n激光加热单元采用CO
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的