[实用新型]一种传送过渡单元有效

申请号：	201920481510.3	申请日：	2019-04-11
公开（公告）号：	CN210015843U	公开（公告）日：	2020-02-04
发明（设计）人：	张海陆;颜廷彪	申请（专利权）人：	德淮半导体有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/67
代理公司：	31295 上海思捷知识产权代理有限公司	代理人：	王宏婧
地址：	223300 江苏***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本实用新型提供了一种传送过渡单元，可用于光阻涂布机中。当机械手臂将晶圆送到传送过渡单元时，如果第一检测机构没有检测到晶圆，那么就有可能发生掉片或者晶圆破损。此时光阻涂布机中的信号处理器件会接收到来自第一检测机构的异常信号，并给出预警信号，技术人员就可以及时检查设备并发现问题。除此之外，还可以在支撑杆上设置第二检测机构用于检测晶圆的位置。利用本实用新型提出的结构可以降低晶圆重工以及报废甚至污染其它晶圆的概率，还可减少不必要的怠机，从而提高产品的良率，提高设备的正常运行时间。另外，本实用新型提出的结构可以应用在光阻涂布机中的多种传送过渡单元中，如TRS单元、TCP单元、SHU单元、或BUF单元。
搜索关键词：	晶圆本实用新型过渡单元光阻涂布机传送信号处理器件机械手臂检查设备异常信号预警信号涂布机支撑杆检测怠机掉片可用良率重工破损报废概率污染应用发现
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【主权项】：

1.一种传送过渡单元，用于光阻涂布机，其特征在于，包括用于承载晶圆的支撑杆以及信号处理器件，所述支撑杆设置有多个支撑块，每个所述支撑块均用于承载所述晶圆；/n每个所述支撑块均设置有第一检测机构，所述第一检测机构用于检测承载在所述支撑块上晶圆的状态信息；/n所述第一检测机构与所述信号处理器件通信连接，所述信号处理器件用于接收所述第一检测机构的信号并根据所述状态信息给出预警信息。/n

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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