[实用新型]压电材料薄膜的极化设备有效
| 申请号： | 201920484101.9 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN209496896U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 李志勇;陈安禄 | 申请（专利权）人： | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/253 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南市永康区亚*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种压电材料薄膜的极化装置，适用以对装置结构的压电材料薄膜进行极化制程。装置结构包含绝缘基材、以及压电材料薄膜设于绝缘基材的表面的第一部分上。压电材料薄膜的极化设备包含导电载盘、极化电极、以及直流电源。导电载盘包含凸状部与凹陷部。绝缘基材设于凸状部上，且凸状部对应位于压电材料薄膜的下方。凹陷部对应位于绝缘基材的表面的第二部分的下方。极化电极设于导电载盘的上方，且配置以朝装置结构的压电材料薄膜发射多个带电离子束。直流电源配置以在极化电极与导电载盘之间形成高电场环境。具凹凸表面构造的导电载盘可使带电离子束集中在待极化的压电材料薄膜上而催化极化过程，因此可确保压电材料薄膜的极化更完整。 | ||
| 搜索关键词： | 压电材料薄膜 导电 载盘 绝缘基材 极化电极 装置结构 凸状部 极化 带电离子 极化设备 直流电源 凹陷部 凹凸表面 极化过程 极化装置 高电场 配置 制程 催化 发射 | ||
【主权项】：
1.一种压电材料薄膜的极化设备，适用以对一装置结构的至少一压电材料薄膜进行一极化制程，该装置结构包含一绝缘基材以及该至少一压电材料薄膜设于该绝缘基材的一表面的一第一部分上，其特征在于，该压电材料薄膜的极化设备包含：一导电载盘，其中该导电载盘包含至少一凸状部与至少一凹陷部，该绝缘基材设于该至少一凸状部上，且该至少一凸状部对应位于该至少一压电材料薄膜的下方，该至少一凹陷部对应位于该绝缘基材的该表面的一第二部分的下方；一极化电极，设于该导电载盘的上方，且配置以朝该装置结构的该至少一压电材料薄膜发射多个带电离子束；以及一直流电源，配置以在该极化电极与该导电载盘之间形成一高电场环境。
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