[实用新型]一种IC半导体行业用除硼超纯水系统有效
| 申请号： | 201920485948.9 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN210885649U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曹传兴;吴国新 | 申请（专利权）人： | 江苏达诺尔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08;C02F101/10 |
| 代理公司： | 苏州诚逸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32313 | 代理人： | 杨月芳 |
| 地址： | 215500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种IC半导体行业用除硼超纯水系统，采用原水加热板式热换器，保证冬天时水温不低于10℃，以提高水质；采用两套并联的除硼树脂混床，一备一用，能够随时切换，提高稳定性，进一步优化水质；设置多套UV杀菌器，能够有效脱除总有机碳TOC，并配置在线TOC测试仪。通过上述方式，本实用新型能够同时产出除硼超纯水和常规超纯水，且整个过程全部实现自动化控制，效率高，运行稳定可靠，水质纯净稳定，经济实用，操作简单，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ic 半导体 行业 超纯水 系统 | ||
【主权项】：
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