[实用新型]一种新型压电旋转精密驱动平台

摘要

本实用新型涉及一种新型压电旋转精密驱动平台，由压电叠堆、非对称薄壁式柔性铰链机构、转子、预紧螺钉、预紧楔块和底座组成。压电叠堆在电压信号驱动下可伸长和恢复，非对称薄壁式柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；预紧螺钉调节非对称薄壁式柔性铰链机构与转子间的初始预紧力；底座支撑和安装固定其他零件。本实用新型压电叠堆主输出方向与转子的旋转中心在一条直线上，压电叠堆主输出方向的刚度得到充分利用；非对称薄壁式柔性铰链机构刚度好，能承受较大的负载，提高了驱动平台的输出负载。该平台可实现沿某一方向的旋转步进式运动，可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、大规模集成电路制造、生物技术领域。