[实用新型]晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机有效
| 申请号： | 201920494512.6 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN209543040U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 刘普然;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机，至少包括：箱体，所述箱体的前后位置分别设有前开合门和后开合门，与所述箱体活动连接；排气孔，设置于所述箱体底面或侧面；吹扫气体系统，设置于所述箱体顶部，所述吹扫气体系统至少包括吹扫板和与所述吹扫板连接的、为所述吹扫板提供吹扫气体的进气管，所述吹扫板上开设有若干个与箱体内腔贯通的出气孔；冷盘系统，设置于所述箱体底部，所述冷盘系统至少包括盘面和位于盘面下的冷却水管。通过增加吹扫气体系统，清除晶圆表面灰尘的同时增加晶圆表面的空气流动，提高晶圆冷却速度，从而进一步提高晶圆的传送速率，增加光刻机产能。 | ||
| 搜索关键词： | 吹扫气体 吹扫 晶圆冷却装置 光刻机 晶圆表面 开合门 晶圆 盘面 本实用新型 活动连接 空气流动 冷却水管 冷却装置 前后位置 箱体底面 箱体顶部 箱体内腔 板连接 出气孔 进气管 排气孔 产能 种晶 冷却 传送 贯通 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆冷却装置，其特征在于，所述晶圆冷却装置至少包括：箱体，所述箱体的前后位置分别设有前开合门和后开合门，与所述箱体活动连接；排气孔，设置于所述箱体底面或侧面；吹扫气体系统，设置于所述箱体顶部，所述吹扫气体系统至少包括吹扫板和与所述吹扫板连接的、为所述吹扫板提供吹扫气体的进气管，所述吹扫板上开设有若干个与箱体内腔贯通的出气孔；冷盘系统，设置于所述箱体底部，所述冷盘系统至少包括盘面和位于盘面下的冷却水管。
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