[实用新型]一种三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 201920507405.2 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN208887572U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;尹建华;屠金磊;马晋遥;唐亮;王晋;石文彬 | 申请（专利权）人： | 山东中科普锐检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 37255 | 代理人： | 贾宝娟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三维形貌检测装置，包括与固定板连接的位置检测单元、激光发生单元和探测单元；探测单元包括压电陶瓷支板、Z轴压电陶瓷和探针固定座的；探针固定座从Z轴压电陶瓷侧部延伸出一向下倾斜的延伸部，其延伸部一端设置有悬臂探针；激光发生单元发出的激光聚焦在悬臂探针的背面，并从悬臂探针的背面反射到位置检测单元上；Z轴压电陶瓷用于调整悬臂探针的位置，使位置检测单元接收到的反射光斑移动至位置检测单元的中心位置。与XY直线运动装置、Z轴升降装置等匹配使用即可获得三维形貌数据。本实用新型结构简单，便于与其他装置配合使用，成本低，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 位置检测单元 悬臂探针 三维形貌检测装置 激光发生单元 本实用新型 探针固定座 探测单元 延伸部 背面 直线运动装置 测量精度高 固定板连接 反射光斑 激光聚焦 其他装置 三维形貌 向下倾斜 压电陶瓷 一端设置 支板 反射 匹配 延伸 移动 | ||
【主权项】：
1.一种三维形貌检测装置，安装在固定板上，其特征在于，所述三维形貌检测装置包括设置于所述固定板上的位置检测单元、激光发生单元和探测单元；所述探测单元包括由上至下依次设置的压电陶瓷支板、Z轴压电陶瓷和探针固定座，所述压电陶瓷支板与所述固定板连接，所述探针固定座设置于所述Z轴压电陶瓷的底部，且所述探针固定座从所述Z轴压电陶瓷侧部延伸出一向下倾斜的延伸部，所述延伸部的一端设置有悬臂探针；所述激光发生单元发出的激光聚焦在所述悬臂探针的背面，并从所述悬臂探针的背面反射到所述位置检测单元上；所述Z轴压电陶瓷用于调整所述悬臂探针的位置，使所述位置检测单元接受到的反射光斑移动至所述位置检测单元的中心位置。
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