[实用新型]一种存储器

摘要

本实用新型公开了一种存储器，包括：衬底基板，衬底基板包括多个有源区和多个浅槽隔离区，有源区和浅槽隔离区间隔设置；位于浅槽隔离区对应的衬底基板一侧的隔离层，隔离层内形成有凹槽结构；位于有源区对应的衬底基板一侧的第一浮栅；位于第一浮栅和凹槽结构内壁表面上的第二浮栅，第二浮栅在凹槽结构的底面位置断开连接；位于第二浮栅上的介质层，介质层覆盖暴露在第二浮栅外的隔离层；位于介质层上的控制栅。本实用新型实施例提供的存储器具有功耗低的优势。

主权项

1.一种存储器，其特征在于，包括：衬底基板，所述衬底基板包括多个有源区和多个浅槽隔离区，所述有源区和所述浅槽隔离区间隔设置；位于所述浅槽隔离区对应的所述衬底基板一侧的隔离层，所述隔离层内形成有凹槽结构；位于所述有源区对应的衬底基板一侧的第一浮栅；位于所述第一浮栅和所述凹槽结构内壁表面上的第二浮栅，所述第二浮栅在所述凹槽结构的底面位置断开连接；位于所述第二浮栅上的介质层，所述介质层覆盖暴露在所述第二浮栅外的所述隔离层；位于所述介质层上的控制栅。