[实用新型]一种翘板结构的RF MEMS接触式开关有效
| 申请号： | 201920516004.3 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN209461308U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 肖倩;王竞轩;陈涛;刘泽文 | 申请（专利权）人： | 苏州希美微纳系统有限公司 |
| 主分类号： | H01H1/00 | 分类号： | H01H1/00;H01H3/04 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，衬底上分布有微波传输线，微波传输线两侧分布有地结构，地结构内开设有驱动电极收纳槽，驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，微波传输线上平行架设有悬臂梁，悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。由此，采用翘板式结构，具有双稳态，开关可靠性更高。“ON”转“OFF”态时，由于有驱动力和悬臂梁自身回复力的双重作用，响应时间更快。在“OFF”态时，金属膜桥与地接触，使得开关隔离度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 微波传输线 悬臂梁 翘板组件 收纳槽 衬底 接触式开关 翘板结构 驱动电极 地结构 金属膜 电极 本实用新型 开关可靠性 翘板式结构 对称设置 开关驱动 两侧分布 双重作用 支点构造 左右两侧 点连接 隔离度 回复力 金属锚 驱动力 双稳态 内开 平行 架设 响应 | ||
【主权项】：
1.一种翘板结构的RF MEMS接触式开关，包括有衬底，其特征在于：所述衬底上分布有微波传输线，所述微波传输线两侧分布有地结构，所述地结构内开设有驱动电极收纳槽，所述驱动电极收纳槽内设置有两两镜像分布的四个开关驱动电极，所述微波传输线上平行架设有悬臂梁，所述悬臂梁左右两侧对称设置有翘板组件，构成“T”型金属膜桥，所述微波传输线与悬臂梁之间有金属锚点连接，所述翘板组件的位置与电极收纳槽相对应，所述翘板组件的底部与衬底之间设置有支点构造。
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