[实用新型]用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜有效
| 申请号： | 201920522783.8 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209802548U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘滕;江致兴;周俐娜 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(武汉) |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02;G03F7/00;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/30 |
| 代理公司： | 42238 武汉知产时代知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙丽丽 |
| 地址： | 430000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜，属于压力传感器技术领域。本实用新型的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入，另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连，单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体；镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本实用新型将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面，形成一外镀双层结构敏感膜，同时具有很好的形变能力和反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感膜 单模光纤 金属硬膜 镀层 软膜 本实用新型 毛细玻璃管 弹性模量 光纤压力传感器 环形端面 反射率 压力传感器技术 单模光纤纤芯 纤芯横截面 双层结构 相对设置 形变能力 直径相等 环形端 空气腔 固连 相等 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜，该FP腔光纤压力传感器由毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜组成，其中单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入，毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连，单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体，毛细玻璃管环形端面的内径和单模光纤的直径相等；单模光纤的横截面中心和敏感膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，单模光纤的纤芯横截面和敏感膜作为FP腔体的两个腔镜，与毛细玻璃管的轴向成90°，形成FP腔干涉结构；其特征在于，该镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜，两者形成倒T形结构，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。/n
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