[实用新型]一种真空吸附载物台有效
申请号: | 201920522847.4 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN210166287U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 陈晓红;杨旭;王雅晨;王楠;卢启萌 | 申请(专利权)人: | 司法鉴定科学研究院 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 沈栋栋 |
地址: | 200063 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种真空吸附载物台,涉及到载物台的技术领域,包括载物台主体、真空油泵、吸气管和金属包边,所述载物台主体包括微孔陶瓷板,且所述微孔陶瓷板的内部设有密闭腔体,所述微孔陶瓷板的上表面均匀的设有若干吸附孔,每一所述吸附孔均与所述密闭腔体连通,且每一所述吸附孔的孔径均为100nm,所述微孔陶瓷板的两侧均设有一吸气孔,两所述吸气孔相正对,且两所述吸气孔分别与所述密闭腔体连通,所述真空油泵通过所述吸气管分别与两所述吸气孔连接,所述微孔陶瓷板的外缘设有所述金属包边。具有结构简单、易操作、提高检测或观察数据的准确性和成像效果的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 吸附 载物台 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于司法鉴定科学研究院,未经司法鉴定科学研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920522847.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种车轴专用轴承组件
- 下一篇:侧部操作式电子设备支架