[实用新型]一种磁控溅射镀膜自动传送装置有效
| 申请号： | 201920525035.5 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN210560703U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 樊静波 | 申请（专利权）人： | 广东东华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429 | 代理人： | 齐海迪 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜自动传送装置，包括反应装置、送料装置，反应装置包括反应腔，反应腔的内部顶端设有固定装置，固定装置中设有三个从左到右的凹槽，凹槽中设有磁铁，固定装置的下端设有靶块，反应腔的顶部设有第一气管，反应腔的底部下方设有摆放板，反应腔的左侧设有第一电动推杆，第一电动推杆的推杆处设有第一挡板，反应腔的右侧设有第一连接口，第一连接口处设有连接门，反应腔内部靠近连接门的上端设有第二电动推杆，第二电动推杆的推杆与连接门固定连接，第二电动推杆伸长时，连接门的底端与摆放板接触，连接门将反应装置和送料装置隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 自动 传送 装置 | ||
【主权项】：
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