[实用新型]剪切散斑干涉仪有效
| 申请号： | 201920530322.5 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN209727317U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李鹰 | 申请（专利权）人： | 苏州利力升光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L1/26;G01B11/16;G01B11/02 |
| 代理公司： | 53113 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人： | 刘静怡<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215004*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种剪切散斑干涉仪，包括光学平台，所述光学平台的顶部设有被测物固定架、激光发射装置以及与计算机电性连接的CCD摄像机，所述被测物固定架上固定有被测物，所述激光发射装置包括发射箱、设于发射箱内的激光器、分束器、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第一光路开关、第二光路开关、第三光路开关、第一反光镜以及第二反光镜。本实用新型采用剪切散斑干涉和数字散斑干涉共光路检测，检测灵敏度高，准确性好。 | ||
| 搜索关键词： | 光路开关 被测物 反光镜 激光发射装置 本实用新型 分光棱镜 光学平台 固定架 剪切散斑干涉仪 检测灵敏度 电性连接 剪切散斑 数字散斑 激光器 发射箱 分束器 共光路 干涉 发射 计算机 检测 | ||
【主权项】：
1.一种剪切散斑干涉仪，包括光学平台(1)，其特征在于：所述光学平台(1)的顶部设有被测物固定架(2)、激光发射装置(3)以及与计算机电性连接的CCD摄像机(4)，所述被测物固定架(2)上固定有被测物，所述激光发射装置(3)包括发射箱(6)、设于发射箱(6)内的激光器(7)、分束器(8)、第一分光棱镜(9)、第二分光棱镜(10)、扩束器(11)、第一光路开关(12)、第二光路开关(15)、第三光路开关(16)、第一反光镜(13)以及第二反光镜(14)；/n所述激光器(7)发出的激光经过分束器(8)分成两束光，一束光经过所述扩束器(11)照射于被测物表面，另一束光通过所述第一光路开关(12)进入光纤传递，所述被测物反射光通过第二光路开关(15)进入第一分光棱镜(9)被所述第一分光棱镜(9)分成两束光，两束光分别经过第一反光镜(13)以及第二反光镜(14)反射至CCD摄像机(4)靶面干涉成像，所述被测物散射光还作为物光通过第三光路开关(16)进入第二分光棱镜(10)反射至相移装置(17)，经过所述第一光路开关(12)光纤传递的那束光作为参考光经光纤传输至第二分光棱镜(10)的另一面。/n
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