[实用新型]一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置有效
| 申请号： | 201920549684.9 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN211718326U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨波;郭鑫;张婷;梁卓玥 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴静波 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置，平面外立体毛发粘合在中层硅微传感器的几何中心，中层微硅传感器的结构由一个质量块基座、四个相同的弱耦合谐振器组和四个相同的平面外运动抑制弹性结构组成；其中四个相同的弱耦合谐振器组对称分布在质量块基座的上、下、左、右四个方向；弱耦合谐振器组通过二级力放大杠杆的输入直梁与质量块基座相连；四个相同的平面外运动抑制弹性结构对称分布在质量块基座的左上、右上、右下、左下四个方向，平面外运动抑制弹性结构通过平面外运动抑制弹性U形梁与质量块基座相连。本实用新型通过将弱耦合谐振器组和平面外运动抑制弹性结构组呈对称结构布置，实现平面内流速的双轴敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振器 振幅 检测 轴流 敏感 装置 | ||
【主权项】：
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