[实用新型]一种大承载量硅片花篮有效
| 申请号： | 201920558414.4 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN209641632U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 冯显火 | 申请（专利权）人： | 昆山泰明易自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 32354 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱丹<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215000江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提出了一种大承载量硅片花篮，包括两块相对平行设置的第一挡板、第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板形成矩形架，所述第一挡板之间活动连接有至少4组承载滑杆，所述承载滑杆上设有小型花篮，所述小型花篮上方设有限位档杆；所述第一挡板上设有两根挂杆，本花篮能够同时承载400片的硅片同时进行清洗，大大提高的清洗效率，并且结构简洁，特别设置了档杆能够防止倾倒时硅片滑出，并且设置了可调节的承载滑杆，上下料更便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 第一挡板 滑杆 花篮 第二挡板 承载 硅片 本实用新型 活动连接有 硅片花篮 平行设置 清洗效率 大承载 矩形架 可调节 上下料 组承载 档杆 挂杆 滑出 位档 倾倒 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种大承载量硅片花篮，其特征在于，包括两块相对平行设置的第一挡板、第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板形成矩形架，所述第一挡板之间活动连接有至少4组承载滑杆，所述承载滑杆上设有小型花篮，所述小型花篮上方设有限位档杆；所述第一挡板上设有两根挂杆；/n所述第一挡板下部设有方形滑槽，所述承载滑杆端部卡于所述方形滑槽内，并能够在所述方形滑槽内滑动。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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