[实用新型]一种实验室用晶圆切割器有效
| 申请号： | 201920561272.7 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN209971170U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 曲迪;靳春艳;陈墨;白国人;宋学颖;闫青芝 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆作业技术领域，公开了一种实验室用晶圆切割器，包括底座，底座的上端固定有圆柱形的主轴；主轴上端设有位置可调节的方形载物台；载物台上等间距设有辅助定位晶圆解理边的两列晶圆找平顶针；两列所述晶圆找平顶针呈L形分布在载物台上端面的两个垂直边缘处。所述主轴外侧套设有切割刀支撑结构；所述切割刀支撑结构包括支撑盘；所述支撑盘设在载物台的下方；支撑盘内设有与所述主轴间隙配合的连接孔；支撑盘相对的两侧设有L形切割臂；该切割器可以自定义调节切割刀与晶圆间的切割角度、及调节两切割刀间的切割间距，能实现定制尺寸晶圆的快速有效切割；能有效防止切割过程中产生的颗粒及粉尘对环境甚至人体健康造成不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 切割刀 支撑盘 顶针 切割 支撑结构 切割器 载物台 底座 载物 找平 作业技术领域 本实用新型 垂直边缘 辅助定位 切割过程 人体健康 上端固定 主轴间隙 可调节 连接孔 切割臂 自定义 上端 解理 粉尘 配合 | ||
【主权项】：
1.一种实验室用晶圆切割器，包括底座，底座的上端固定有圆柱形的主轴；其特征在于：主轴上端设有位置可调节的方形载物台；载物台上等间距设有辅助定位晶圆解理边的两列晶圆找平顶针；两列所述晶圆找平顶针呈L形分布在载物台上端面的两个垂直边缘处。/n
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