[实用新型]一种石墨舟饱和绝缘的装置有效
| 申请号： | 201920566504.8 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN209561354U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张蒙;张招辉 | 申请（专利权）人： | 湖北华昶能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441333 湖北省随州市曾都区洛阳镇*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到太阳能电池生产技术领域。是一种石墨舟饱和绝缘的装置。其特征是在石墨舟片放置有硅片，通过左陶瓷环、右陶瓷环和下陶瓷环及相连接的右陶瓷连接杆、左陶瓷连接杆和下陶瓷连接杆为一组固定硅片。所述的左陶瓷环、右陶瓷环和下陶瓷环为空心陶瓷环，空心陶瓷环为空心柱状，空心陶瓷环内径为6毫米，外径为8毫米，高为11毫米。所述的空心陶瓷环每组为3个，陶瓷连接杆呈Y型，3个陶瓷环分别位于Y型陶瓷连接杆3个端点。由于采用了本技术方案，可方便的设置于石墨舟片上，在石墨舟饱和时，将石墨卡点与外界隔绝，有效防止氮化硅膜层镀到卡点上。在石墨舟饱和后，可方便取下。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷环 陶瓷连接 空心陶瓷 石墨舟 饱和 石墨舟片 卡点 绝缘 太阳能电池生产 本实用新型 氮化硅膜层 固定硅片 空心柱状 外界隔绝 石墨 硅片 取下 | ||
【主权项】：
1.一种石墨舟饱和绝缘的装置，其特征是在石墨舟片（7）放置有硅片（5），通过左陶瓷环（8）、右陶瓷环（1）和下陶瓷环（3）及相连接的右陶瓷连接杆（2）、左陶瓷连接杆（4）和下陶瓷连接杆（6）为一组固定硅片（5）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
