[实用新型]单晶炉的炉内清洁装置有效
| 申请号： | 201920567197.5 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN210146609U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 魏海宁;孔祥传 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人： | 华德明 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种单晶炉的炉内清洁装置，包括低速电机，所述低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母，丝杠螺母转动连接有丝杠，丝杠的下端固定连接有转筒，转筒的下端面设置有连接轴，连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆，第一伸缩杆的左侧面通过第一固定块固定连接有清洗部，第二伸缩杆的右侧面通过第二固定块固定连接有吸尘部，本实用新型在清洗部中采用可更换的除尘布的方式，有效避免产生二次性的碎屑，通过可伸缩的装置，清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉，通过低速电机的转动实现全方位的清洁，减少劳动力的劳动强度，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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