[实用新型]半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置有效
申请号: | 201920579217.0 | 申请日: | 2019-04-25 |
公开(公告)号: | CN209946540U | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 高静;田玉冰;陈建生;姚文明;王鹏;檀慧明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科医疗科技发展有限公司 |
主分类号: | G02B27/10 | 分类号: | G02B27/10;H01S5/00 |
代理公司: | 11369 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 韩飞 |
地址: | 215163 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置,包括:N个合束子系统以及用于将N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对;合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜;光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅。本实用新型先利用外腔与半导体激光器后腔面组成外腔半导体激光器,使不同的合束单元锁定在不同的波长,再利用光栅的色散作用,将各个半导体激光叠阵发出的激光束在空间重叠成一束输出,能在提升输出功率的同时保持良好的光束质量水平,这样合束后的光束质量得到了极大的改善,实现了高功率高光束质量的合束输出。 | ||
搜索关键词: | 光栅 合束 半导体激光叠阵 本实用新型 高光束 输出 外腔半导体激光器 半导体激光器 透镜 半导体激光 高功率输出 快轴准直镜 慢轴准直镜 单元锁定 合束装置 空间重叠 平行设置 色散作用 输出功率 依次设置 质量水平 出射光 高功率 后腔面 激光束 输出镜 再利用 子光束 波长 光路 外腔 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置,其特征在于,包括:N个合束子系统以及用于将所述N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对;/n所述合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿所述半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜;/n所述光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅;/n所述半导体激光叠阵发出的光依次经过所述快轴准直镜、慢轴准直镜后,通过所述变换透镜转换成不同的入射角度投射到所述第一光栅上,不同叠层的出射光经所述第一光栅衍射后以相同的衍射角度合束形成子光束,再经所述输出镜输出到所述第二光栅;N个合束子系统的输出的子光束均入射到所述第二光栅,再入射到所述第三光栅的相同位置上产生重叠,经所述第三光栅衍射后以相同的出射角度合束输出。/n
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