[实用新型]一种LC式温湿度传感器有效
| 申请号： | 201920586302.X | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN209605973U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李卫;陈婉翟;崔欣悦;任青颖;李金 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34;G01N27/22 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种LC式温湿度传感器，包括衬底，衬底上方设置有叉指正电极、叉指负电极、电感线圈，衬底与叉指正电极、叉指负电极、电感线圈之间存在一个空腔；叉指负电极表面覆有一层敏感介质，叉指正电极和叉指负电极形成叉指结构，叉指正电极和叉指负电极之间有空气层，构成检测电容；电感线圈位于叉指正电极和叉指负电极的外围，电感线圈的尾部通过引线与叉指负电极连接，电感线圈与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；空腔的四周设置有自下而上的氧化层、底层钝化层、顶层钝化层，氧化层位于衬底上。本实用新型可以实现对温度和湿度的同时检测，具有灵敏度高，响应快，结构简单、体积小、成本低、寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指 负电极 电感线圈 电极 衬底 温湿度传感器 本实用新型 检测电容 氧化层 空腔 底层钝化层 负电极表面 叉指结构 敏感介质 谐振回路 钝化层 灵敏度 体积小 顶层 气层 外围 响应 检测 | ||
【主权项】：
1.一种LC式温湿度传感器，其特征在于：包括衬底(1)，衬底(1)上方设置有叉指正电极(8‑1)、叉指负电极(8‑2)、电感线圈(7)，衬底(1)与叉指正电极(8‑1)、叉指负电极(8‑2)、电感线圈(7)之间存在一个空腔(10)；所述叉指负电极(8‑2)表面覆有一层敏感介质(9)，叉指正电极(8‑1)和叉指负电极(8‑2)形成叉指结构，叉指正电极(8‑1)和叉指负电极(8‑2)之间有空气层(11)，构成检测电容；所述电感线圈(7)位于叉指正电极(8‑1)和叉指负电极(8‑2)的外围，电感线圈(7)的尾部通过引线(6)与叉指负电极(8‑2)连接，电感线圈(7)与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；所述空腔(10)的四周设置有自下而上的氧化层(2)、底层钝化层(3)、顶层钝化层(4)，氧化层(2)位于衬底(1)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920586302.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
