[实用新型]晶舟夹取手臂位移驱动机构

摘要

为了解决动位移驱动机构造价高、晶舟夹取手臂位移不稳、精度低的技术问题，本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构和连接杆的晶舟夹取手臂位移驱动机构。采用伺服电机和齿轮齿条的组合驱动晶舟夹取手臂平移，采用伺服电机和滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取手臂升降，采用伺服电机驱动旋转，不仅制造成本低，而且平移和升降配合直线导轨进行导向，提高了晶舟夹取手臂的位移精度，降低了运行噪音。

主权项

1.晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，包括平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构和连接杆；所述平移驱动机构由固定座、伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成，两条所述直线滑轨一和齿条平行固定于所述固定座上，所述齿条位于两条直线滑轨一之间，所述固定座固定在所述直线滑轨一的滑块上，所述伺服电机一固定于固定座中，所述齿轮与所述齿条啮合且固定于所述伺服电机一的输出轴上；所述升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成，两条直线滑轨二平行且竖直地固定于所述固定座中，所述基座固定在所述滚珠丝杆副的轴套上，所述伺服电机二固定于固定座中，所述伺服电机二作为动力源带动基座升降运动；所述旋转驱动机构由伺服电机三、转轴和两个轴承座构成，两个所述轴承座固定在所述基座上，所述转轴竖直安装在这两个轴承座之间，所述伺服电机三作为动力源带动所述转轴旋转；所述连接杆的顶端通过联轴器安装在所述转轴的底部，底端设置有用于安装晶舟夹取手臂的安装板。