[实用新型]一种实验室硅片样品的加热吹干装置有效

专利信息
申请号: 201920591045.9 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN210070446U 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 张锐;胡益丰;孙松;徐永康;朱小芹 申请(专利权)人: 江苏理工学院
主分类号: F26B11/04 分类号: F26B11/04;F26B25/02;F26B21/00;F26B3/04
代理公司: 32231 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 王巍巍
地址: 213001 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型通过将硅片样品置于带有通孔的转桶中,以热风机提供的热风来对硅片样品进行加热、吹风,一方面,转桶在减速马达的作用下做慢速、匀速的转动,使硅片样品能均匀受热,同时通过转桶上的通孔使空气流动将受热后蒸发的水蒸气排出转桶,保证残留水渍去除的较彻底;另一方面,转桶的通孔直径小于硅片的大小,可以保证硅片不会飞出;本实用新型的技术方案可以大大缩短实验室烘干、吹干硅片样品的时耗,提高实验室工作效率,吹干样品后随即取用,保证硅片样品的洁净度。
搜索关键词: 硅片样品 转桶 通孔 本实用新型 硅片 吹干 水蒸气 工作效率 减速马达 均匀受热 空气流动 受热 洁净度 热风机 保证 烘干 慢速 排出 取用 热风 时耗 水渍 吹风 加热 去除 蒸发 转动 残留
【主权项】:
1.一种实验室硅片样品的加热吹干装置,其特征在于,包括底座(1)、转桶(5)和风干机构(6);所述转桶(5)转动设置在所述底座(1)上,所述转桶(5)通过动力机构(3)驱动转动,所述转桶(5)上设置有若干比硅片样品小的通孔(511),所述转桶(5)上还设置有进料口(512),所述风干机构(6)设置在转桶(5)的一侧。/n
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