[实用新型]一种低成本的微波等离子体光源谐振器

摘要

本实用新型公开了一种低成本的微波等离子体光源谐振器，耦合探针与输入同轴线的内导体连接并插入所述的空气耦合腔内，陶瓷谐振器的顶面、底面、前侧面和后侧面均采用金属化处理并接地，在陶瓷谐振器的右侧面上设置有上、下侧金属带，上侧金属带的上端与陶瓷谐振器顶面的金属面连接并接地，下侧金属带的下端与陶瓷谐振器底面的金属面连接并接地，在陶瓷谐振器的左侧面开有半圆柱形沟槽，在沟槽内设有上下两段不连接的金属化处理部分，在上侧金属带和上侧金属化处理部分之间以及下侧金属带与下侧金属化处理部分之间分别开有深过孔。本实用新型减少陶瓷块烧结时的炸裂现象，烧成后尺寸不易变形，精度高，提高了产品的成品率，大幅度地降低成本。

主权项

1.一种低成本的微波等离子体光源谐振器，其特征在于：包括有输入同轴线、耦合探针、空气耦合腔和陶瓷谐振器，所述的耦合探针与输入同轴线的内导体连接并插入所述的空气耦合腔内，所述的陶瓷谐振器为长条形长方体瓷块，陶瓷谐振器的顶面、底面、前侧面和后侧面均采用金属化处理并接地，在陶瓷谐振器的右侧面上设置有上、下侧金属带，上侧金属带的上端与陶瓷谐振器顶面的金属面连接并接地，下侧金属带的下端与陶瓷谐振器底面的金属面连接并接地，在陶瓷谐振器的左侧面开有半圆柱形沟槽，在沟槽内设有上下两段不连接的金属化处理部分，在上侧金属带和上侧金属化处理部分之间以及下侧金属带与下侧金属化处理部分之间分别开有深过孔，在两个深过孔的内壁均作导电金属化处理，所述的陶瓷谐振器的右侧面与空气耦合腔的左侧面接触并固定连接。/n