[实用新型]一种多弧离子镀阴极装置有效
| 申请号： | 201920596788.5 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN210341041U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 崔岸;黄显晴;刘天赐;杨伟丽;徐晓倩;孙文龙;郝裕兴 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内；多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接；凹型矩形靶固定在多弧阴极体上；电磁铁设置有多个，且均匀排布于多弧阴极体底座上；多弧阴极底座的两端安装绝缘密封电极，多弧阴极底座一端安装引弧装置；绝缘密封电极分别与多个电磁铁连接；控制系统调节多个电磁铁线圈的电流幅值。本实用新型提供了一种多弧离子镀阴极装置，通过计算机对磁场进行智能控制，使镀膜更加均匀致密，提高镀膜层均匀性和镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 阴极 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920596788.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种潜孔钻机用伺服控制装置
- 下一篇：一种用于铝合金模板的加强筋
- 同类专利
- 专利分类
