[实用新型]一种多功能数字散斑检测仪光路结构有效
申请号: | 201920598428.9 | 申请日: | 2019-04-28 |
公开(公告)号: | CN209820407U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 聂中原;邵珩;周勇;刘战捷;祁俊峰 | 申请(专利权)人: | 北京卫星制造厂有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/16 |
代理公司: | 11009 中国航天科技专利中心 | 代理人: | 张晓飞 |
地址: | 100190*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型一种多功能数字散斑检测仪光路结构,包括第一激光器、第二激光器、第一快门、第二快门、第三快门、第四快门、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第三分光棱镜、第一固定反射镜、第二固定反射镜、第一可调反射镜、第二可调反射镜、第三可调反射镜、第四可调反射镜、第五可调反射镜、第六可调反射镜、第七可调反射镜、第八可调反射镜、第一压电陶瓷调节反射镜、第二压电陶瓷调节反射镜、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和数字成像系统。本实用新型解决了现有散斑检测设备功能单一、综合检测能力不足的问题。 | ||
搜索关键词: | 可调反射镜 透镜组 快门 分光棱镜 本实用新型 固定反射镜 压电陶瓷 激光器 反射镜 散斑 数字成像系统 多功能数字 功能单一 光路结构 检测设备 能力不足 综合检测 检测仪 | ||
【主权项】:
1.一种多功能数字散斑检测仪光路结构,其特征在于:包括第一激光器(1)、第二激光器(2)、第一快门(3)、第二快门(4)、第三快门(5)、第四快门(6)、第一分光棱镜(7)、第二分光棱镜(8)、第三分光棱镜(9)、第一固定反射镜(10)、第二固定反射镜(11)、第一可调反射镜(12)、第二可调反射镜(13)、第三可调反射镜(14)、第四可调反射镜(15)、第五可调反射镜(16)、第六可调反射镜(17)、第七可调反射镜(18)、第八可调反射镜(19)、第一压电陶瓷调节反射镜(20)、第二压电陶瓷调节反射镜(21)、第一透镜组(22)、第二透镜组(23)、第三透镜组(24)、第四透镜组(25)和数字成像系统(26);/n第一激光器(1)出射的激光首先经过第一快门(3),再经过第一分光棱镜(7),此后激光被分为两束等强的激光,一束经过第三透镜组(24)、第七可调反射镜(18)最终照射到被测物,另一束光经过第一压电陶瓷调节反射镜(20)、第一可调反射镜(12)、第四透镜组(25)、第八可调反射镜(19)最终照射到被测物;/n第二激光器(2)出射的激光首先经过第二快门(4),再经第二固定反射镜(11)变向后经过第二分光棱镜(8)将激光分为等强度的两束,一束经过第一固定反射镜(10)、第二压电陶瓷调节反射镜(21)、第二可调反射镜(13)、第一透镜组(22)、第五可调反射镜(16)最终照射到被测物,另一束光会经过第三分光棱镜(9)被分成另外两束光,一束经过第四可调反射镜(15)、第四快门(6)后进入数字成像系统(26),另一束经过第三快门(5)、第三可调反射镜(14)、第二透镜组(23)、第六可调反射镜(17)最终照射到被测物。/n
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